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石英玻璃管外表面抗腐蝕納米金剛石薄膜的制備

發布日期:2018-07-11 08:41:32       作者:華洋石英

    在具有新型諧振腔的微波等離子體CVD裝置上,利用乙醇和氫氣為工作氣體在石英玻璃管外表面沉積了均勻、致密的納米金剛石薄膜。采用掃描電子顯微鏡、Raman光譜及X射線衍射表征了金剛石薄膜的質量;設計腐蝕實驗檢驗了金剛石薄膜的抗腐蝕效果。結果表明:在反應氣壓為5.5 kPa、碳源濃度為8 vo1%、石英玻璃管溫度為500oC的條件下,得到的納米金剛石薄膜能有效增強石英玻璃管的抗腐蝕性能。 

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